LCRメータZM2376

ZM2376
  • ZM2376 ¥350,000（税抜）

概要

高速・高精度、ばらつきの少ない安定した測定

ラボユースにも、ラインユースにも、さまざまな測定に対応

ZM2376は、コイル、コンデンサ、抵抗等電子部品・材料のパラメタの絶対値を高速かつ高精度に測定するLCRメータです。1mHzの低周波領域から最高5.5MHzまで、広い周波数範囲をカバーします。
高速かつ、ばらつきの少ない安定した測定で、材料の研究から部品の生産ラインまで、幅広い用途に対応します。

  • 測定周波数 1mHz～5.5MHz、設定分解能6桁
  • 測定時間 最速 2ms
  • 基本確度 0.08%
  • 測定信号レベル 10mVrms～5Vrms、1μArms～200mArms
  • DCバイアス用電源内蔵 0～+5V
  • 定電圧/定電流駆動、直流抵抗（DCR)測定、コンタクトチェック機能、トリガ同期駆動、偏差表示、コンパレータ
  • マルチ測定（一つの試料に対して、複数の測定条件で自動測定・判定）
  • ハンドラインタフェース、USB/GPIB/RS-232/LAN(オプション)インタフェース
  • データ取り込み用アプリケーションソフトウエア、IVI計測器ドライバ
  • 部品測定用治具として、各種テストフィクスチャ、テストリードを用意(別売)

ラインナップ

ZM2371 / ZM2372 (100kHzモデル) の情報はこちら 詳細

  ZM2371 ZM2372 ZM2376
測定周波数 1mHz～100kHz 1mHz～5.5MHz
基本確度 0.08%
測定信号 10mVrms～5Vrms, 1μArms～200mArms
内部直流バイアス 0～+2.5V 0～+5V
測定パラメタ Lp, Ls, Cp, Cs, Rp, Rs, |Z|, |Y|, G, Q, D, θ, X, B, Rdc(直流抵抗)
測定速度 最速2ms
コンタクトチェック
機能		 なし あり
(4端子コンタクト)		 あり
(コンタクト・低容量)
インタフェース USB/RS-232 USB/RS-232/GPIB USB/RS-232/GPIB
/LAN（オプション）
ハンドラ
インタフェース		 なし あり

リアパネル

リアパネル
*LANインタフェースはオプション

バラツキの少ない再現性の高い測定の例

ZM2372とZM2376を使って、下記の条件で1nFのコンデンサを200回繰り返し測定した結果です。ZM2376では、さらに測定の再現性が向上しています。

  • 測定条件（測定時間：5ms　測定周波数：100kHz　測定信号レベル：1V）
ZM2376測定例　測定条件（測定時間：5ms　測定周波数：100kHz　測定信号レベル：1V）
ZM2372測定例　測定条件（測定時間：5ms　測定周波数：100kHz　測定信号レベル：1V）

特長

広い測定周波数範囲と高分解能設定

1mHz～5.5MHzの周波数範囲をカバー。その上、6桁分解能で設定できますので、さまざまな部品を実際に使用される周波数で測定できるほか、パラメタの周波数依存性の評価なども可能です。

広い測定レベルとALC機能

10mVrms～5Vrms／1μArms～200mArmsの測定信号レベルを3桁の分解能で設定可能です。また、ALC（自動レベル制御）機能により、定電圧／定電流駆動を設定できますので、試料の電圧／電流依存性を考慮した安定した信号レベルで、再現性の高い測定が可能となります。

高速測定

測定時間は、RAP (Rapid), FAST, MED (Medium), SLOW, VSLO (Very Slow)の5段階切換え可能。RAPを選択すると、2ms（1kHz／1MHz）、10ms（120Hz）の高速測定を実現します。高速かつ高精度のLCRメータは、生産ラインや自動検査装置の測定効率の向上に貢献します。

高精度

基本確度0.08％、表示分解能最大6桁の高精度な測定を実現。信頼できる測定は、最先端デバイスの開発から検査ラインの部品選別まで、性能や品質の向上に不可欠です。

DCバイアス電圧

0～＋5VのDCバイアス用電源を内蔵し、電解コンデンサなどの有極性部品の測定に対応します。また、リチウムイオン電池（単セル）の高速インピーダンス測定も可能です。詳細
また、オプションのDC電圧バイアスアダプタを使えば、試料に±40Vのバイアス電圧を加印することができ、大容量積層セラミックコンデンサの電圧依存性などの測定に対応します。

DCバイアス電圧

直流抵抗（DCR）測定

コイルやトランスの巻線抵抗など、直流抵抗の測定が可能です。主パラメタにインダクタンス、副パラメタに直流抵抗の測定値を同時に表示することができます。

コンタクトチェック機能・低容量チェック

異常な低容量や電圧・電流の異常を検知し、ほとんど追加時間なしでコンタクト不良を検出します。

トリガ同期駆動

コンタクトしている期間だけ試料を駆動することができる機能です。大容量コンデンサ測定時に、試料の付け外しによるコンタクト損傷を低減することができます。履歴特性を持つ試料の場合、短時間で測定すると測定値が大きくばらつきます。トリガ同期駆動を使うと、各試料に加わる駆動信号と取得される信号の時間および位相関係が一定になり、測定値のばらつきが抑えられ、測定時間を大幅に短縮することができます。

偏差表示

測定する部品の基準値をあらかじめ設定し、基準値からの偏差、偏差％を表示できます。部品の許容差の規格値に対する合否判定や温度特性試験などで有用です。

コンパレータ

主パラメタは最大14個のBINに分類、副パラメタでは設定した上下限値1組の測定結果を選別することができます。測定値、偏差または偏差％による選別が可能で、判定結果は、ハンドラインタフェースに出力されます。また、判定結果に応じて、ビープ音を鳴らすこともできます。リモート制御では、リミット判定機能を用いて、主パラメタ・副パラメタの上下限値（各1組）に対して判定することも可能です。

マルチ測定

マルチ測定は、ひとつの試料を最大32ステップの測定条件で測定し、総合的な合否判定を行う機能です。ステップごとに測定周波数、測定信号レベル、内部DCバイアス、測定パラメタなどの複数の条件を設定し、主パラメタの上下限値1組、副パラメタの上下限値1組に対して測定とリミット判定を行います。

その他の機能

  • 補正機能（オープン補正、ショート補正、ロード補正、ケーブル長補正）
  • 設定・補正値メモリ（32組、不揮発性メモリに保存して切換え可能）
  • モニタ表示（電圧・電流）
  • 放電保護

アプリケーションソフトウェア

各種測定条件の設定や測定データの取得・表示が可能なソフトウェアが標準で添付されています。
CSVファイル形式で測定データを取得できますので、研究開発における膨大なデータの処理に便利です。また、周波数スイープ測定により、インピーダンス-周波数特性の測定に対応します。

操作画面

メイン設定画面
メイン設定画面
Excelを用いたグラフ表示
Excelを用いたグラフ表示

測定例

100μF電解コンデンサ
電解コンデンサ 100μF
2MHz水晶振動子（共振点付近）
水晶振動子（共振点付近） 2MHz
フィルムコンデンサ2.2μF
フィルムコンデンサ 2.2μF
インダクタ　1mH
インダクタ 1mH

動作環境

  • OS：Windows 10、Windows 8.1（32ビット/64ビット版）
  • インタフェース：USB
    （設定や測定データをXLS形式で保存するには、Microsoft Excel 97以降が必要です）

本体に付属。ダウンロードでも入手いただけます。詳細

  • サンプルプログラム、IVI計測器ドライバも添付またはダウンロードにて提供します。

アプリケーション

部品の生産ライン、選別装置への組み込み

最速2ms、バラツキの少ない測定、試料との接続ケーブルによる影響を抑える補正機能、コンパレータやコンタクトチェックなどの機能、さらに自動選別用ハンドラインタフェースを装備し、さまざまなラインニーズに対応します。
右図では、ケーブル長にかかわらず、安定した測定結果が得られていることを示しています。

インダクタ測定例 （ケーブル長 1m、2m、4m）
▲インダクタ測定例 （ケーブル長 1m、2m、4m）

パワー部品のインピーダンス測定

インダクタは、流れる直流電流の影響によりインピーダンスが変化することがあります。
ZM2376と直流電流重畳ユニット（カスタム製作）を組み合わせることで、実際の動作条件で、特性を評価することが可能です。詳細

33μHのインダクタに電流を重畳して測定
▲33μHのインダクタに電流を重畳して測定

リチウムイオン電池の高速インピーダンス測定

ZM2376は内部DCバイアス電圧を最大＋5Vまで設定できるので、起電力が3Vを超えるリチウムイオン電池（単セル）の測定が可能です。
また、1mHzの低周波から測定可能なので、電池の内部インピーダンスの詳細な評価が可能です。

リチウムイオン電池の高速インピーダンス測定

仕様
外形寸法

仕様・測定確度

外形寸法

外形寸法
単位：mm

付属品
オプション

付属品

  • 電源コードセット（3極，2m）　　1
  • 取扱説明書　　1
  • CD（アプリケーションソフトウエア、サンプルプログラム、IVI計測器ドライバ）　　1

オプション

型名／品名価格備考
PA-001-2131
LANインタフェース		¥30,000（税抜）受注時オプション

テストフィクスチャ・テストリード（汎用部品）

型名／品名価格備考
2324
4端子ワニグチクリップテストリード		¥52,000（税抜）
2325AL
ケルビンクリップテストリード		¥58,000（税抜）
2325AM
ケルビンクリップテストリード		¥58,000（税抜）
ZM2392
ケルビンクリップテストリード		¥20,000（税抜）
ZM2391
3端子ワニグチクリップテストリード		¥20,000（税抜）

テストフィクスチャ・テストリード（チップ部品）

型名／品名価格備考
ZM2366
チップテストリード		¥50,000（税抜）
ZM2394
チップテストフィクスチャ		¥60,000（税抜）
ZM2394H
チップテストフィクスチャ		¥75,000（税抜）
ZM2393
チップテストフィクスチャ		¥40,000（税抜）
2326A
チップ部品用テストリード		¥64,000（税抜）

テストフィクスチャ・テストリード（リード部品）

型名／品名価格備考
ZM2363
テストフィクスチャ		¥42,000（税抜）

アダプタ

型名／品名価格備考
ZM2329
DC電圧バイアスアダプタ		¥60,000（税抜）

テストフィクスチャ・テストリード 詳細

ZM2329　DC電圧バイアスアダプタ

測定対象物にDCバイアス電圧を印加しながら測定するためのアダプタです。外部の直流電源から、試料に±40Vの範囲のバイアス電圧を印加できます。4 端子対構造で浮遊容量や残留インピーダンスが小さく抑えられています。
LCRメータとテストフィクスチャの間に接続して使用します。

対応するテストフィクスチャ：

ZM2363、ZM2366、ZM2394H、2324、2325AL、2353AM

  • 使用可能周波数範囲100Hz～5.5MHz
ZM2329　DC電圧バイアスアダプタ

ダウンロード

カタログ

取扱説明書

ファームウェア

アプリケーションソフトウェア

サンプルプログラム

関連技術用語集

関連計測お役立ち情報

関連技術資料

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