ディジタルロックインアンプLI5600シリーズ

LI5660
  • LI5645 ¥600,000(税抜)
  • LI5650 ¥750,000(税抜)
  • LI5655 ¥900,000(税抜)
  • LI5660 ¥1,200,000(税抜)

概要

高速応答・広帯域・高安定度

  • 用途にあわせて選べる4モデル

位相検波以降のデジタル処理により、高い安定度を実現。最高100dB の優れたダイナミックリザーブ、更新レート約1.5Mサンプル/s(LI5660/LI5650、LI5650/LI5645は約780kサンプル/s)、振幅分解能16ビットの高速で滑らかな出力応答、微小信号測定の信頼性を高める基本性能を網羅しました。
LI5660は最高測定周波数11MHz(HF 入力端子装備)、LI5655が3MHzと従来機種に比べ、高周波領域をカバー。LI5650/LI5645 は、1mHzの低周波から250kHzの測定に対応します。さらに2周波数同時測定* や分数調波測定などの新機能を搭載し、さまざまな応用分野の高度な測定ニーズに対応します。

  • LI5645は除く
  • 周波数範囲
    LI5660:0.5Hz~11MHz(HF入力端子使用時)
    LI5655:0.5Hz~3MHz
    LI5650 / LI5645:1mHz~250kHz
  • 電圧測定
    LI5660:10nV~10V F.S.(C入力端子使用時)
    LI5655 / LI5650 / LI5645:10nV~1V F.S.
  • 電流測定
    LI5660 / LI5655 / LI5650:10fA~1μA F.S.
  • 最小時定数
    LI5660 / LI5655:1μs
    LI5650 / LI5645:5μs
  • アナログ出力更新レート
    LI5660 / LI5655: 約1.5 M サンプル/秒
    LI5650 / LI5645: 約780k サンプル/秒
  • 2周波数同時測定(LI5660 / LI5655 / LI5650)
    2位相検波器を2系統装備し、2つの周波数成分を同時測定
  • 分数調波測定
    基本波の分数倍の周波数(1~63)/( 1~63)で測定
  • 外部10MHz同期入力
    外部基準周波数を用いて、他の機器の周波数基準と同期可能
  • 測定パラメータ
    X, Y, R, θ, DC, NOISE
  • 通信インタフェース
    USB、GPIB、RS-232、LAN
  • 薄型2Uサイズ(88mm)

ラインナップ

○:装備あり -:装備なし

  LI5660 LI5655 LI5650 LI5645
周波数範囲 0.5Hz~11MHz 0.5Hz~3MHz 1mHz~250kHz
信号入力 電圧(A, A-B, C, HF)、電流 電圧(A, A-B)、電流 電圧(A, A-B)
   10V 入力 ○(C入力端子、0.5Hz~3MHz)
  高周波入力 ○(HF入力端子、10kHz~11MHz)
感 度 A, A-B: 10nV~1V F.S (0.5Hz~3MHz)
C: 1mV~10V F.S (0.5Hz~3MHz)
HF: 1mV~1V F.S (10kHz~11MHz)
I: 10fA~1μA F.S.
10nV~1V F.S (0.5Hz~3MHz)
10fA~1μA F.S.
10nV~1V F.S (1mHz~250kHz)
10fA~1μA F.S.
10nV~1V F.S (1mHz~250kHz)
入力換算雑音 4.5nV/√Hz (参考値)
PSD (位相検波) 2位相・2周波数 2位相・1周波数
ダイナミックリザーブ 100dB
時定数 1μs~50ks 5μs~50ks
出力更新レート 約1.5M サンプル/ 秒 約780k サンプル/ 秒
2周波数同時測定
分数調波測定 ○ 基本波の (1~63)/(1~63)
外部10MHz 同期
測定パラメータ X, Y, R, θ, DC, NOISE
外部制御 USB, GPIB, RS-232, LAN

各部の紹介

フロントパネル

各部の紹介(フロントパネル)

リアパネル

各部の紹介(リアパネル)

特長

高速応答・高安定度

時定数

検波部の最小時定数は、LI5660 / LI5655で1μs(LI5650 / LI5645は5μs)です。
ロックインアンプ本体の性能向上により、高周波かつ高速応答を実現しました。

時定数設定
時定数設定

同期フィルタ

信号の整数周期の同期(移動平均)フィルタを搭載しています。この機能により検波に伴う測定信号のリプルを低減できます。同期フィルタは時定数フィルタとは独立した動作のため、時定数を大きくすることなくSN比を改善でき、結果として高速な応答を得られます。

低い周波数でも高速にロック

デジタル方式の採用により、低周波(数Hz以下)では、約2周期で参照信号にロックします。

優れたダイナミックリザーブ

位相検波とそれ以降の処理のデジタル化により、アナログ方式に比べて高ゲイン時の出力ドリフトが小さく、最高100dBのダイナミックリザーブが得られます。(信号フルスケールの100,000倍の雑音下で測定が可能です。)

広帯域 高周波入力端子により最高11MHz(LI5660)

電圧測定は、シングルエンド(A)および差動(A-B)入力に加え、LI5660 では10Vrms入力(C)、高周波入力(HF)の端子を装備しています。
HF入力端子では、最高11MHzの測定が可能です。

LI5660 信号入力端子
LI5660 信号入力端子

2周波数同時測定 2位相(Rcosθ、Rsinθ)、2系統(主検波器、副検波器)

  • 2つの周波数成分を同時測定
  • レシオ演算
  • 位相検波器の縦続接続

LI5660 / LI5655 / LI5650 は、2位相検波器(PSD)を2系統装備し、1つの入力信号に含まれる2つの周波数成分を同時に測定できるので、従来なら2台のロックインアンプが必要だったデュアルビーム法などの測定が1 台で可能となります。また、測定値と基準値の比を求めるレシオ演算や、主検波器に副検波器を縦続接続して、信号を主検波器で検波後、さらに副検波器で検波することも可能です。

2 周波モード(DUAL1) 設定
2 周波モード(DUAL1) 設定

分数調波測定 基本波の分数倍の周波数(1~63)/(1~63)

基本波の分数倍の周波数で測定できます。LI5660 / LI5655 / LI5650 の2 周波モードでは、主検波器に与える参照信号周波数を主周波数のn/m 倍に、副検波器に与える参照信号周波数をn 倍または主周波数とは異なる値にして測定することも可能です。

分数調波測定
分数調波測定

高調波測定は2つの測定周波数の間が整数倍(f2=(f1×n))です。この場合、f1側の信号にひずみがあると整数倍の周波数(高調波)となり、f2 の信号と区別できなくなります。分数調波測定ならば、f2=f1×n/m の関係で測定できるので、f1にひずみが発生しても、f2 に影響のない周波数を設定でき、f1の高調波の影響を受けずにf2の高感度測定が可能となります。

検波モード一覧

検波モード 主検波器 副検波器 機能
SINGLE* 基本波/分数調波 なし 1周波数、2位相検波
DUAL 1 基本波/分数調波 基本波/調波 1つの信号入力信号に含まれる基本波とその調波成分を同時測定
DUAL 2 主周波数 副周波数 1つの入力信号に含まれる独立した 2つの周波数成分を同時測定
CASCADE 主周波数 副周波数 主検波器に副検波器を縦続接続
  • LI5645 は2位相・1周波数につき、SINGLEモードのみ

Technical Info

【基本波成分に対する任意次数の高調波含有率の測定】

「2周波数同時測定」と「分数調波測定」を組み合せた測定例。詳細

外部10MHz同期 外部基準周波数を用いて、他の機器の周波数基準と同期可能

信号発生器など他の機器とロックインアンプを共通の10 MHz 周波数源に同期して動作させると、外部参照信号(REF IN)を用いずに、任意の周波数(数値設定)で同期できます。

外部10MHz 基準周波数入力設定
外部10MHz 基準周波数入力設定

アプリケーション

仕様
外形寸法

仕様

外形寸法

LI5660

外形寸法(LI5660)
単位:mm

LI5655/LI5650共通

外形寸法(LI5655/LI5650)
単位:mm

LI5645

外形寸法(LI5645)
単位:mm

付属品
オプション

付属品

  • 取扱説明書  1
  • CD-ROM (リモート制御用ドライバ、他 )  1
  • 電源コードセット (2m、3極プラグ付き)  1
  • ヒューズ (タイムラグ、1.0A/250V、φ5.2×20mm)  1
  • 保護キャップ (電流入力端子用)*  1

* LI5645は除く

オプション

型名/品名価格備考
PA-001-2779
ラックマウントキット(EIA)
¥12,000(税抜)
PA-001-2780
ラックマウントキット(JIS)
¥12,000(税抜)
CA5360
低雑音プリアンプ
¥180,000(税抜)(専用ケーブル付)

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関連技術用語集

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