太陽電池生産ライン向けソリューション

エヌエフの太陽電池生産ライン向けソリューションでは、セル単位の特性検査による高度な品質管理と、特性の悪いセルの改善等の提案によって、電池の品質向上と歩留まり向上に貢献します。

		薄膜系プロセス		結晶系プロセス
ウェーハ製造		電極成膜		インゴット	結晶系のウェーハや薄膜系の太陽電池セルの品質を自動検査します。   前工程で品質検査を行うことにより、プロセス全体の生産性向上に寄与します。
		電極分離		スライス
		洗浄		エッチング

成膜・  スクライビング		成膜		成膜	成膜・スクライビング後の各セルの品質を検査して、セル間のバラつきを確認し、電池の長寿命化に寄与します。   品質の悪いセルを改修し、生産の歩留まり向上に寄与します。
		パターニング		反射防止膜
		電極分離		配線取付

モジュール  製造		最終配線		最終配線
		規格試験		規格試験

薄膜系太陽電池生産ライン向け

太陽電池セルエージング装置

　セル毎にI-V特性を計測し、さらに不具合のあるセルを改善します。

高速絶縁検査装置

　160チャネルを一度に測定する高速IR測定装置です。

変換効率/I-V特性改善装置

　セル特性改善機能とI-V特性測定機能を装備、Aクラス対応ソーラーシミュレータを内蔵した変換効率改善装置　

　も提供可能です。

結晶系太陽電池生産ライン向け

ウェーハ欠陥検査装置

　画像検査では検出困難な内部欠陥を独自のアコースティックエミッション（AE）計測技術により検出可能です。

太陽電池セルクラス分け装置

　不良品を排除し、良品を最大10クラスに分類可能。Aクラス対応ソーラーシミュレータを内蔵し、セル毎の電気

　特性を測定可能です。

各装置の詳細については、お問い合わせください。 お客様のニーズに合わせた製造・検査装置の開発も承っております。