株式会社エヌエフ回路設計ブロック
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機能デバイス応用製品

ピエゾドライバ

As-904

アプリケーション 

各種圧電 (ピエゾ) アクチュエータの駆動用電源として

  • 半導体製造装置における精密位置制御
  • 光学レンズ、ミラーの位置制御
  • 電子ビームの制御
  • X-Yテーブルの位置制御
  • アクティブ防振装置
  • 気体、液体の精密流量制御用のバルブコントロール
  • その他、高電圧出力アンプとして