株式会社エヌエフ回路設計ブロック
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微少信号測定器

新製品

ディジタルロックインアンプ

LI5600シリーズ

電SPM(走査型プローブ顕微鏡)の信号処理

point 走査型プローブ顕微鏡(SPM)

point STM

point AFM

point KFM

 

STM(走査型トンネル顕微鏡)や AFM(原子間力顕微鏡)に代表される走査型プローブ顕微鏡は、先端がナノスケールのプローブを試料の表面上で走査し、プローブと試料間の信号を検出して、試料の表面の電子状態や構造、物理的・化学的性質を観察します。

ロックインアンプは、試料とプローブとの距離の制御などに使用されます。

NFのロックインアンプを使用すれば・・・

 

point

MHz 領域の高い共振周波数のカンチレバーにも対応可能です。

 

  point 時定数を小さくすることで(1μs~)、高速スキャンが可能となり、短時間で画像化ができます。  
  point 同期フィルタにより、位相検波出力のリップルを大幅に低減することで、高速化に加え、高画質化にも寄与します。  

測定例

ブロック図

 

  • ロックインアンプは、試料とプローブとの距離の制御などに使用されます。  
  • ロックインアンプ内蔵の発振器で圧電アクチュエータを駆動します。
  • カンチレバーにレーザを照射し、反射光をセンサにより受光します。
  • 受光した信号と発振器の周波数を同期させ、検波することでカンチレバーの振れ幅が分かります。

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