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微少信号測定器

新製品

ディジタルロックインアンプ

LI5600シリーズ

光音響法 ~AOM(音響光学変調器)を用いた物性の評価~  

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point 光熱変換法

point 半導体

point イメージング

 point 光音響顕微鏡(PAM)  

point 音響光学変調器(AOM)

 

光音響法は、試料に光を照射することで生成される熱エネルギーを圧力変動に変換し、音響信号としてマイ
クロホンで測定する手法です。半導体製造プロセスにおける欠陥の検出や、不透明物質の吸収スペクトルの
測定、固体内部のイメージング像の検出など使用されます。
音響信号検出にロックインアンプが使用されます。

NFのロックインアンプを使用すれば・・・

 

point

最高測定周波数 11MHzにより、磁場変調周波数の高周波化が可能(LI5660)

 

  point 時定数が最小1μsのため測定の高速化が可能(LI5655/LI5660)  
  point 100dB以上のダイナミックリザーブがあり、光学的な条件が悪い環境でも測定可能  

光音響法の原理

光音響法の原理

 

測定例

測定ブロック図

 

  • 固体試料に光を断続的に照射すると、試料が光エネルギーを吸収して熱源となり、熱エネルギーに変換されます。 
  • 熱エネルギーが密閉容器内の圧力変動となり、それをマイクロフォンで音響信号として検出します。
  • 光照射信号はファンクションジェネレータ(NF 製 WF1967)から出力し、AOM に入力します。
  • ロックインアンプでマイクロフォン信号を測定します。参照信号はAOM で変調した変調入射光と同じ周波数を使用します。
  • ロックインアンプの測定結果は、振幅が光エネルギーの吸収量を、位相差が断続的な入射光に対する音波発生の遅れを表します。 

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